在第三代半導(dǎo)體材料制備環(huán)節(jié)中，感應(yīng)爐作為核心加熱裝備，運(yùn)行品質(zhì)直接影響材料純度與成品穩(wěn)定性。星特亮自主研發(fā)的 6 英寸感應(yīng)爐，依托多年半導(dǎo)體設(shè)備研發(fā)積淀，結(jié)合第三代半導(dǎo)體材料生長實(shí)際需求，完成技術(shù)與工藝雙向升級，成為國內(nèi) 6 英寸半導(dǎo)體材料制備的優(yōu)質(zhì)適配設(shè)備。

該款 6 英寸感應(yīng)爐采用成熟電磁感應(yīng)加熱原理，借助物料感應(yīng)電熱效應(yīng)實(shí)現(xiàn)高效升溫，可在大氣、真空、保護(hù)氣氛等多種環(huán)境下完成加熱、熔煉等工序，高度適配第三代半導(dǎo)體材料制備場景，在透熱處理、高阻合金熔煉、純金屬加工等場景表現(xiàn)突出。設(shè)備搭載智能控制系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)溫度精準(zhǔn)調(diào)節(jié)，保障加熱過程平穩(wěn)均勻，減少溫度波動帶來的性能偏差，助力企業(yè)提升成品良率。

依托內(nèi)部專業(yè)研發(fā)團(tuán)隊(duì)（18 名全職研發(fā)人員 + 5 名兼職研發(fā)人員）協(xié)同攻關(guān)，6 英寸感應(yīng)爐在結(jié)構(gòu)布局、能耗管控層面持續(xù)優(yōu)化，搭配特殊結(jié)構(gòu)磁軛與異型線圈導(dǎo)體，合理降低熔煉耗電量，兼顧作業(yè)效率與節(jié)能屬性。

目前，該產(chǎn)品已通過國家電爐檢測中心嚴(yán)苛檢測，憑借穩(wěn)定性能收獲市場廣泛認(rèn)可，與國內(nèi)多家半導(dǎo)體企業(yè)達(dá)成長期合作，同時布局海外市場，為 6 英寸半導(dǎo)體材料規(guī)模化生產(chǎn)提供可靠設(shè)備支撐。

隨著第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)向大尺寸、高功率方向迭代，8 英寸半導(dǎo)體材料市場需求持續(xù)攀升，配套專用裝備成為產(chǎn)業(yè)升級的關(guān)鍵支撐。星特亮緊跟行業(yè)發(fā)展趨勢，自主研發(fā) 8 英寸電阻爐，依托成熟熱場設(shè)計(jì)與精密控溫能力，補(bǔ)足國內(nèi)同類設(shè)備技術(shù)短板，助力本土大尺寸半導(dǎo)體設(shè)備實(shí)現(xiàn)自主可控。

作為星特亮核心主力產(chǎn)品，8 英寸電阻爐采用石墨電阻發(fā)熱模式，通過熱輻射傳導(dǎo)至石墨坩堝，實(shí)現(xiàn)全域均勻加熱；創(chuàng)新軸徑分離結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，便于生產(chǎn)過程缺陷管控，優(yōu)良徑向溫場環(huán)境，可實(shí)現(xiàn)低應(yīng)力、低裂損生產(chǎn)，充分滿足 8 英寸碳化硅等第三代半導(dǎo)體材料的嚴(yán)苛制備標(biāo)準(zhǔn)。

設(shè)備搭載微電腦 PID 智能控制器，支持多段工藝程序自定義設(shè)置，可精準(zhǔn)預(yù)設(shè)升溫、恒溫、降溫完整曲線，控溫精準(zhǔn)、溫場均勻；搭配健全的防護(hù)機(jī)制，具備超溫、過流、開門斷電等多重安全防護(hù)，保障設(shè)備長期平穩(wěn)運(yùn)行。

憑借企業(yè)在半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域的長期技術(shù)積累，疊加 31 項(xiàng)專利技術(shù)賦能（發(fā)明專利 3 項(xiàng)、實(shí)用新型專利 18 項(xiàng)），8 英寸電阻爐在工藝適配性、智能化程度上持續(xù)升級，可結(jié)合客戶生產(chǎn)工況提供定制化方案，保障襯底低缺陷、高良率生產(chǎn)。

現(xiàn)階段設(shè)備已實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定量產(chǎn)，全面供應(yīng)國內(nèi)市場，并出口俄羅斯等地區(qū)，為第三代半導(dǎo)體大尺寸產(chǎn)業(yè)化發(fā)展提供核心裝備保障。